時(shí)婷婷
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日本Horiba S48 32/HMT氣體質(zhì)量流量控制器可任意角度安裝,可對(duì)零點(diǎn)漂移有效的控制。
日本Horiba S48 32/HMT氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn):
可以任意角度安裝
良好的線性——多段線性補(bǔ)償
快速的響應(yīng)
電磁閥使用壽命大于等于100萬次
對(duì)零點(diǎn)漂移有效的*制
良好的選擇性
全球化的零配件供應(yīng):傳感器,分流器,精致元器件日本進(jìn)口
日本Horiba S48 32/HMT氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù):
編號(hào)
項(xiàng)目
S48 32/HMT
1
流量規(guī)格
(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
2
調(diào)節(jié)閥類型
電磁調(diào)節(jié)閥
3
調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài)
常閉
4
安裝角度
任意
5
流量控制范圍
2%~100%
6
流量測量范圍
0~100%
7
響應(yīng)時(shí)間
2s(T98,設(shè)定值的±2% F.S.)
8
工作環(huán)境溫度
5℃~50℃
9
精度保證溫度
15℃~35℃
10
精度
±1.0%F.S.
11
線性精度
±0.5%F.S.
12
重復(fù)性
±0.2%F.S.
13
工作壓差
~5L/min (50~300)kPa(D)5L/min~10L/min (100~300)kPa(D) 30L/min~50L/min (150~300)kPa(D)
14
耐壓
3MPa
15
泄漏率
1×10-8 Pa?m3/s (He)
16
接觸氣體材料
316L,PTFE,Viton氟橡膠
17
管路接頭
Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″
18
供電電源
±15VDC(±5%) +15V<100mA,-15V<150mA
+24VDC
(寬電壓+11~+25V),<250mA(+24Vdc供電時(shí))
19
設(shè)定信號(hào)
(0~5)VDC 輸入阻抗>1MΩ
4~20mA;
(可定制:1~5V或0~5V)
20
流量輸出信號(hào)
(0~5)VDC 負(fù)載能力≤3mA
21
電氣接頭
D-SUB15,D-SUB9
22
重量(kg)
0.9