X軸(驅(qū)動(dòng)部) |
測(cè)量范圍 | 50mm |
分辨率 | 0.05μm |
長(zhǎng)度基準(zhǔn) | 線性編碼器 |
驅(qū)動(dòng)速度 | 0-20mm/s |
測(cè)量速度 | 0.02-5mm/s |
移動(dòng)方向 | 向后 |
直線度 | 0.2μm/50mm |
定位 | ±1.5°(傾角,有DAT功能),30mm(向上/向下) |
檢測(cè)器 |
范圍/分辨率 | 800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,8μm/0.0001μm |
檢測(cè)方法 | 無軌/有軌測(cè)量 |
測(cè)力 | 4mN或0.75mN |
測(cè)針針尖 | 金剛石,90o/5μmR(60o/2μmR) |
導(dǎo)頭曲率半徑 | 40mm |
導(dǎo)頭壓力 | 小于400mN |
類型 | 差動(dòng)電感式 |
尺寸(WxDxH) | 425x94x160mm |
重量 | 主機(jī)2.7kg |
連接裝置3.8kg |
評(píng)估能力 |
適用標(biāo)準(zhǔn) | JIS\'82,JIS\'94,JIS\'01,ISO,ANSI,VDA |
評(píng)估輪廓 | P(原始輪廓),R(表面粗糙度曲線),DIN4776,粗糙度曲線motif |
評(píng)價(jià)參數(shù) | Ra,Ry,Rz,Rt,Rp,Rq,Rv,Sm,S,Pc,R3z,mr(c),Rpk,Rvk,δc,Rk,Mr1,Mr2 Lo,Ppi,R,AR,Rx,A1,A2,Vo,HSC,mr,SK,Ku,Δa,Δq,Wte,Wx,W,AW(可定制) Rz1max(ISO),Rmax(VDA,ANSI) |
分析圖表 | ADC、BAC、功率譜圖 |
評(píng)價(jià)曲線 | 斷面曲線、粗糙度曲線、DF曲線、波紋曲線表面粗糙度MOTIF、波形MOTIF曲線 |
解析圖表 | 負(fù)荷曲線、振幅分布曲線 |
曲線補(bǔ)償 | 拋物線、雙曲線、圓錐、圓、二次曲線、傾斜補(bǔ)償、無補(bǔ)償 |
濾波類型 | 2CR,PC75,高斯 |
截止波長(zhǎng) | lc0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8,25mm ls0.25,0.8,2.5,8,25,80,250μm無濾波器 lf0.08,0.25,0.8,2.5,8,25mm無濾波器 |
取樣長(zhǎng)度 | 0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8,25mm; |
數(shù)據(jù)補(bǔ)償功能 | 傾斜補(bǔ)償、R平面(曲面)補(bǔ)償、橢圓補(bǔ)償、拋物線補(bǔ)償、雙曲線補(bǔ)償、二次曲線自動(dòng)補(bǔ)償、多項(xiàng)式補(bǔ)償、多項(xiàng)式自動(dòng)補(bǔ)償 |