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日本YAMATO雅馬拓 DTN430C潔凈厭氧高溫氣氛爐，潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應用于固化半導體晶圓等。

日本YAMATO雅馬拓 DTN430C潔凈厭氧高溫氣氛爐產(chǎn)品特點：

. zui高工作溫度360℃和500℃。

. 采用耐熱高性能*效過濾器，可在潔凈的環(huán)境下進行高溫烘烤。

. 高氣密性的壓力箱構造，氧濃度到達時間短，N2 消耗量很低。

. 磁密封保持高氣密性，采用水冷機構保護密封部件免受熱量影響。

. 可實現(xiàn)快速升溫和降溫，升降溫速率可調節(jié)。

. 標準裝備有廢液回收裝置，對氣體進行冷卻回收。

. 可選型號DTN430C/630C/450C/650C

*全性

. 門檢測開關

. 溫度過升防止器

. 氧濃度異常*全裝置

. 氮氣壓力檢測

. 氮氣流量檢測

. 冷卻水流量檢測

. 漏水傳感器

. 過電流漏電漏電保護開關;

日本YAMATO雅馬拓 DTN430C潔凈厭氧高溫氣氛爐技術參數(shù)：